智能手機(jī)與平板裝置(Tablet Device)的蓬勃發(fā)展，讓低溫多晶硅(LTPS)制程​​技術(shù)與觸控面板炙手可熱，從而推升相關(guān)制造設(shè)備需求，預(yù)估2011年LTPS和觸控的設(shè)備商可服務(wù)市場(chǎng)(SAM)規(guī)模將達(dá)4億美元，較2010年大幅增長(zhǎng)兩倍，為2011年設(shè)備供應(yīng)商的發(fā)展注入一股強(qiáng)勁的成長(zhǎng)動(dòng)能。

    應(yīng)用材料(Applied Materials)集團(tuán)副總裁暨顯示器事業(yè)群總經(jīng)理Tom Edman表示，移動(dòng)裝置將是繼筆記型電腦、桌上型顯示器與大尺寸平面電視后，第四波顯示器市場(chǎng)成長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力，并將帶動(dòng)龐大的資本設(shè)備需求，其中，可讓有機(jī)發(fā)光二極體(OLED)與液晶面板實(shí)現(xiàn)更高效能和更高解析度的LTPS背板技術(shù)，以及可攜式裝置正大量導(dǎo)入的多點(diǎn)觸控面板，由于需要更多制程設(shè)備支出，將是該公司今年搶攻的重點(diǎn)，預(yù)估2011年移動(dòng)顯示相關(guān)的設(shè)備營(yíng)收比重將占該公司整體顯示器事業(yè)營(yíng)收的三成以上。

    相較于現(xiàn)今非晶硅(a-Si)技術(shù)，LTPS背板由于具有較快的反應(yīng)速度，可達(dá)到更高的解析度，是現(xiàn)今移動(dòng)顯示器追求更高顯示效能不可或缺的重要技術(shù)，但LTPS的制程遠(yuǎn)較非晶硅復(fù)雜許多，所需的制程設(shè)備數(shù)量也比非晶硅增加兩倍；至于多點(diǎn)觸控面板更是移動(dòng)裝置顯示器的發(fā)展主流，而觸控面板至少四至五層的薄膜沉積步驟，亦讓物理氣相沉積(PVD)與化學(xué)氣相沉積(CVD)等設(shè)備重要性顯著提升。

    Edman指出，觸控面板市場(chǎng)如今已是百家爭(zhēng)鳴，尤其是電容觸控技術(shù)，由于可實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)觸控功能，已成兵家必爭(zhēng)之地，不論是傳統(tǒng)彩色濾光片或面板制造商，或僅鎖定觸控面板發(fā)展的新進(jìn)業(yè)者，都已大舉擴(kuò)增相關(guān)產(chǎn)能。預(yù)估未來(lái)幾年，觸控面板市場(chǎng)將持續(xù)成長(zhǎng)，并激勵(lì)制設(shè)備需求不斷攀升。

    事實(shí)上，為滿足觸控面板業(yè)者提升產(chǎn)量的需求，應(yīng)用材料日前也推出一款具平行處理能力的PVD制造設(shè)備AKT-Aristo Twin，可于單一系統(tǒng)上同時(shí)以兩條獨(dú)立軌道進(jìn)行沉積作業(yè)，以提升整體生產(chǎn)效率并降低制造成本。目前，已獲得中國(guó)大陸和臺(tái)灣的主要觸控面板制造商采用。