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索尼的柔性電子紙,利用印刷技術(shù)制作TFT

來源:http://china.nikkeibp.com.cn/ 更新日期:2012-09-18 作者:pjtime資訊組

    在目前發(fā)布的柔性電子紙中,索尼開發(fā)的13.3英寸有機TFT驅(qū)動產(chǎn)品最受關(guān)注(圖A-1)。該產(chǎn)品為單色顯示,采用了臺灣E Ink Holdings的電子紙。像素為2130×1596,像素尺寸為127μm×127μm,分辨率為200dpi。開口率為82%。

    有機TFT的半導(dǎo)體層采用被稱為“PXX衍生物”(peri-Xanthenoxanthene)的自主開發(fā)的有機材料。載流子遷移率約為0.5cm2/Vs。

    開發(fā)品的特點是其中的有機TFT是利用印刷技術(shù)制作的。對每層有機TFT,分別使用了平板膠印、旋涂及狹縫涂布3種印刷技術(shù)。僅用平板膠印法形成的是表面保護膜。像素電極在以濺射法成膜后,又用平面膠印形成了感光性樹脂。有機半導(dǎo)體層用狹縫涂布法、柵極絕緣膜和層間絕緣膜用旋涂法成膜后,再利用普通光刻法形成圖案。

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